Начин на подготовка на полисилициум.

1. Се вчитува

Ставете го обложениот кварцен сад на масата за размена на топлина, додадете силициумска суровина, потоа инсталирајте опрема за греење, опрема за изолација и капак на печката, евакуирајте ја печката за да го намалите притисокот во печката на 0,05-0,1 mbar и да го одржите вакуумот. Воведете го аргонот како заштитен гас за да го задржите притисокот во печката во основа на околу 400-600 mbar.

2. Греење

Користете графитен грејач за да го загреете телото на печката, прво испарете ја влагата што се апсорбира на површината на графитните делови, изолациониот слој, силиконските суровини итн., а потоа полека загревајте за температурата на кварцниот сад да достигне околу 1200-1300℃. Овој процес трае 4-5 часа.

3. Топење

Воведете го аргонот како заштитен гас за да го задржите притисокот во печката во основа на околу 400-600 mbar. Постепено зголемувајте ја грејната моќност за да ја прилагодите температурата во садот на околу 1500℃, а силиконската суровина почнува да се топи. Чувајте околу 1500℃за време на процесот на топење додека не заврши топењето. Овој процес трае околу 20-22 часа.

4. Растење на кристали

Откако ќе се стопи силиконската суровина, грејната моќ се намалува за да се намали температурата на садот на околу 1420-1440℃, која е точката на топење на силициумот. Тогаш кварцниот сад постепено се движи надолу, или изолациониот уред постепено се крева, така што кварцниот сад полека ја напушта грејната зона и формира размена на топлина со околината; во исто време, водата се поминува низ плочата за ладење за да се намали температурата на топењето од дното, а на дното прво се формира кристален силициум. За време на процесот на растење, интерфејсот на цврсто-течност секогаш останува паралелен со хоризонталната рамнина додека не се заврши растот на кристалите. Овој процес трае околу 20-22 часа.

5. Греење

По завршувањето на растот на кристалот, поради големиот температурен градиент помеѓу дното и горниот дел од кристалот, може да постои термички стрес во инготот, кој лесно се скрши повторно при загревање на силиконската обланда и подготовка на батеријата. . Затоа, откако ќе заврши растот на кристалот, силиконскиот ингот се чува во близина на точката на топење 2-4 часа за да се направи температурата на силиконскиот ингот униформа и да се намали топлинскиот стрес.

6. Ладење

Откако силиконскиот ингот ќе се закова во печката, исклучете ја моќноста за греење, подигнете го уредот за изолација на топлина или целосно спуштете го силиконскиот ингот и внесете голем проток на гас аргон во печката за постепено намалување на температурата на силиконскиот ингот до блиску собна температура; во исто време, притисокот на гасот во печката постепено се зголемува додека не достигне атмосферски притисок. Овој процес трае околу 10 часа.